日本科賦樂(lè)內(nèi)拋光系列質(zhì)量流量控制器
日本KOFLOC5100系列質(zhì)量流量控制器-內(nèi)拋光
金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
內(nèi)部拋光Ra≤0.1，杜絕二次污染介質(zhì)
±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號(hào)更加通用
適用于高真空、半導(dǎo)體以及對(duì)管路潔凈度高要求場(chǎng)合

日本科賦樂(lè)內(nèi)拋光系列質(zhì)量流量控制器

性能參數(shù)：

    ★使用注意

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過(guò)濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過(guò)90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過(guò)20微米》。

二：用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能?chē)娫趦x表或電氣插頭上。

三：安裝前，請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口大壓力5公斤。

五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒(méi)流量沒(méi)壓力下 再操作。